东方中科供货国产DUV光刻机产商科益虹源,打造国产光刻机梦之队

想必近日大家注意到,ASML突然在没有任何证据的情况下,就指责我国企业东方晶源侵犯了其知识产权,紧接着东方晶源马上组织了回应,发布声明表示,ASML的表述与事实不符,东方晶源拥有自主的知识产权,且自主知识产权完备,对于 相关不实信息,公司将保留追究其法律责任的权利。

很显然,ASML发起的这次突然袭击,并没有让其占到便宜。经过了解可以得知,东方晶源并不是一家光刻机研发制造企业,那么为什么ASML会突然向东方晶源发难呢?

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其实从ASML说起,大家就更容易理解,需要知道的是,ASML只是一家光刻机整机企业,它起到的作用是整合,也就是说,ASML负责的主要是对光刻机进行设计和制造,其中需要的很多组件和服务,需要供应链来完成。

也就是说,一台光刻机的背后,其实是一条完整的产业链在通力合作。

好,有了这个基本的概念,大家就容易理解东方晶源了,其实东方晶源就是我们国产光刻机产业链当中的其中一员,东方晶源所处的地带属于“缺陷检测”,属于光刻机配套设施中的重要一环。

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然而就在东方晶源事件发生后,我们国产光刻机产业链的“梦之队”也出现了,东方晶源则是“队员之一”,所以东方晶源并不孤单。

整体来看,“梦之队”分为四大部分,分别是光刻机的6大核心组件、5大核心配套、整机集成、IC前道与后道。

具体来说,目前我们的“梦之队”在这四大部分都有“队员”在布局,我们分别进行一一介绍。

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首先在6大核心组件上,包括双工作台、光源系统、曝光系统、浸没系统、物镜系统和光栅系统。这其中就包括华卓精科、福晶科技、科益虹源、国科精密、启尔机电、奥普光电、国望光学和上光所。

其中科益光源为光源提供商,其研发的193纳米准分子激光器位列世界第三,可助力主机厂研发7纳米光刻机,是国家02重大专项“准分子激光技术”成果的产业化载体,目前已经获得华为投资。

在5大核心配套上,包括光刻胶、光刻气体、光掩膜板、缺陷检测和涂胶显影。我们的“梦之队队员”包括南大光电、容大感光、北京科华、上海新阳、华特气体、雅克科技、华润微、菲利华、精测电子、芯源微,还有就是东方晶源。

其中北京科华被SEMI列入全球光刻胶八强, 其参与的国家科技重大专项极紫外(EUV)光刻胶项目已通过验收。

剩下的两个部分,在整机集成上,有我们熟悉的上海微电子,还有芯硕半导体、影速半导体;IC前道如中芯国际,还有华润微、华虹,后道如长电科技、晶方科技等。

当然,鉴于篇幅的限制,其实我们也只是列举了其中的一部分“队员”,所以我们看到,在光刻机的这个产业链上,我们的“队员”是完整的,那么这意味着什么呢?

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相信大家还记得,之前ASML方面表示,他们不认为我们可以做出顶级光刻机,其给出的理由是,一些关键的组件,只能从其他国家获得。

其实这是ASML根深蒂固的一种偏见,为什么这么说呢?

因为在ASML公司成立的年代,光刻机市场空间很小,但是需要投入的资金很大,如果不是荷兰政府和欧盟源源不断的资金输血,ASML已经早就倒闭了。

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这就造成对于光刻机的所有组件,单一国家是难以全部实现自己研发的,即便是当时的美国也是如此。

所以ASML必须全球采购,才能保证自己的产品拥有更强的竞争力,以谋求获得市场。

换句话说,其本国市场养活不了光刻机的全产业链,但我们不同。

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就拿ASML在2021年的财报来说,尽管其并没有出售给我们EUV光刻机,但是我们给ASML带去的营收就高达近三成,而ASML的市场份额约为85%。

这是什么概念,也就是说,即便在没有EUV光刻机的情况下,我们国内光刻机市场就达到了全球的约25%,因此如果将EUV光刻机的市场计算,我们应该有接近全球一半的市场份额。

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这不难理解,因为目前全球的芯片市场,我们国内就占据了一半还多。

而在如今老美疯狂封锁打压的情况下,我们即便靠自己的内循环市场,也足以养活全部的产业链。

所以说,其实老美将ASML托下了泥潭,进而给我们自主研发创造了机会,因为在纯商业竞争中,我们将很难与ASML竞争。

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因为ASML是一个为了获得市场,可以不顾一切的“狠角色”。

例如为了突破DUV之后的光刻机发展屏障,当时还是小角色的ASML不顾一切的加入了英特尔发起的EUV联盟,从此也奠定了ASML会受到老美控制的基调,因为这其中签署了一些协议,而ASML必须遵守,同时当时的光刻机巨头尼康被踢出局。

很显然,这标志着ASML已经丧失了对公司的一部分控制权,但这还没结束,在经过6年的理论推算,论证EUV具备可行性后,ASML为了获得巨额的研发资金,不惜稀释自己的股权,大举引入英特尔、三星、台积电的投资。

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在经过这样多伦的外部助力后,ASML经过三年的研发,终于推出了EUV光刻机的原型机,不过尽管如此,距离EUV光刻机最终交付客户,又经过了十多年时间才完成。

这就是ASML。

因此ASML总裁才能骄傲的说:我们不太可能独立制造出顶级光刻机。

但是ASML还是忘了最重要的一点,那就是市场,市场才是最终的决定性因素,而ASML在付出这么多之后,却只能眼睁睁地看着自己不能进入。

是的,是老美改变了市场规则,而新的规则让ASML积攒了二十多年的优势无处可用。

所以近期ASML方面也似乎看清了形式,其总裁就表示,我也不是说中国就一定造不出,一切已经不言而喻。

而这次ASML突然发难东方晶源,有分析师指出,这或许是ASML着急了,上面我们也提到,虽然不包括EUV光刻机,但是ASML依然从我们这里拿走了差不多相当于25%市场份额的订单。

我们目前距离下一代DUV光刻机只剩下一步之遥,届时将会直通7纳米,试想如果这部分光刻机全部被国产替代,那么ASML将会迎来一个强大的对手。

而如果我们再突破EUV光刻机,那么ASML的市场地位将岌岌可危,这并不是危言耸听,而是有着一定的事实基础。

近日国际知名分析机构Counterpoint发布报告就指出,ASML的下一代EUV光刻机,将主要依靠更大的数值孔径镜头。

要知道,镜头的数值空间在约40年前是0.28,而ASML的第一代EUV光刻机,采用的是0.33数值孔径的镜头,由此可见,制造更大数值孔径的镜头难度太大。

而ASML只能走这条路的话,那么无疑将会增加其研发新一代光刻机的时间,很显然,作为追赶者的我们,希望这个时间越长越好。

因此有外媒就指出,ASML别犹豫了,在EUV出货方面该果断做出决定,因为时间不等人,反正,我们是不会等的。

对此大家怎么看,欢迎评论区一起讨论。

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